5.2 工艺布局

5.2.1 洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。

5.2.2 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并应在各自的入口处设置相应的净化设施。

5.2.3 在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下，空气洁净度严格的洁净室(区)宜靠近空调机房布置；空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。

5.2.4 洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出入口和可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。

5.2.5 工艺布置时，应根据大型生产工艺设备的运输、安装、维修的要求设置运输通道、安装口或检修口。

5.2.6 洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间联系频繁时，应采取防止污染的措施。

条文说明

5.2.1 洁净厂房的工艺布局应综合各方面的因素，重点要考虑生产工艺、人员操作、设备维修、物料运输、未来发展等方面的要求。

工艺布局的核心是要满足电子产品生产工艺要求，在此前提下根据所选择的洁净室气流型式，在有利于工艺设备的安装维修、物料运输和提高效率、降低造价等，合理进行洁净厂房的工艺布置。

在单向流洁净室(区)布置时，对于洁净室(区)中的生产工艺设备的布置、操作程序的安排和人员流动、物料传输等可能对单向气流造成的物理障碍，应采用措施避免发生紊流或交叉污染。图3是表示设备、人员等对单向气流的干扰和改进措施，左侧图示为物理障碍产生的干扰；右侧图(a)是采取调整工艺设备布置，改善气流流动，(b)是改进设备构造、外形，改善气流；(c)是改变人员的操作行为，改善气流；(d)改进气流流动方式，确保产品生产区域的洁净度要求。

5.2.2 人员进出、材料出入、产品运送及设备、工具搬运的频繁交错，不但会彼此干扰、易发生混杂、降低生产效率，并可能会使洁净室(区)的空气洁净度受到影响和气流受到破坏。因此，在工艺布局时，应充分考虑人员、物料设备，有各自的出入口。人员入口处的净化设施包括单人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、气闸室等，具体选用何种形式，需根据洁净室(区)的空气洁净度等级、人员数量、未来发展需求等确定。

物料净化设施包括货物吹淋室、气闸室、压缩空气吹扫头等，一般可根据物料种类、包装方式和洁净室(区)的空气洁净度等级等确定。

5.2.3～5.2.5 洁净厂房中生产区、辅助区和各类生产设备的布置与洁净室(区)内的气流流型、空气洁净度等级的保持密切相关，所以本规范规定：在洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出入口和可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧；空气洁净度等级要求相同的工序或工作室相对集中布置等都是电子产品洁净室(区)内布置的基本要求。

另外，由于电子产品更新换代快，电子工厂在实际生产中，在线维修及调试、边生产边增加设备扩大生产能力的情况很多，因此在做工艺布局时，应根据具体情况，考虑这些因素，留出相应的运作空间。

5.2.6 为避免不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间的频繁联系发生交叉污染，应根据电子产品生产工艺要求合理选择相应技术措施，如人的联系应采用气闸室或空气吹淋室；大物件的运送也可以采用气闸室，一般物件的运送可采用传递窗；穿越隔墙的管线应采用可靠气密措施等。

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