5.3 人员净化

5.3.1、5.3.2  电子工业洁净厂房，由于电子产品品种、规格、产量的不同，其洁净室的规模和空气洁净度等级要求差异较大，如现今的大规模集成电路用洁净厂房或TFT—LCD用洁净厂房的建筑面积一般均在几万平方米，空气洁净度等级为1～3级或4～5级，而印制电路版生产用洁净室的建筑面积一般只有几百平方米，且有时还根据工艺布局要求需分多处设置，空气洁净度等级为7级或8级。为此，本规范只推荐一种人员净化程序供设计参考，并规定：“人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净度等级设置，并应设置生活用室。”电子工业洁净厂房中人员净化用室、生活用室以及空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间和干燥间等均应在具体工程项目设计时，根据实际情况和需要设置。

5.3.3  洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积指标——按设计人数平均每人2～4㎡是经验数据，在具体工程项目设计时，应根据洁净室的规模大小、洁净室内人数多少和空气洁净度等级等因素合理确定。一般情况下，洁净室内人数较多时采取推荐数据的下限，人数较少时采取上限；洁净室规模较大时，一般可采取下限。

5.3.5  电子工业洁净厂房中，设置了空气吹淋室的主要是6～9级的洁净室，但有的洁净室也未设空气吹淋室；而空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室设置空气吹淋室的较少，设气闸室的较多。关于空气吹淋室对人员净化作用的评价众说纷纭，但根据测定数据表明：只要空气吹淋室产品质量符合标准规定要求和管理得当，它对进入洁净室人员的净化效果是肯定的。为此，本条没有规定洁净厂房内洁净室(区)的入口处都应设空气吹淋室，而是对洁净厂房空气吹淋室的设计，规定了4款要求。

    第1、4款，实际上是推荐6～9级洁净室入口处宜设空气吹淋室。具体工程项目中，若不设空气吹淋室时，应设气闸室，作为洁净室(区)与非洁净室(区)的分隔和缓冲。5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区)，推荐设气闸室。

    第2款，规定空气吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻场所，就是进一步明确空气吹淋室的气闸作用，既分隔洁净室(区)与非洁净室(区)，又能防止外部空气进入洁净室，并使洁净室维持正压状态。它是从非洁净室(区)更换洁净工作服后经空气吹淋进入洁净室(区)。

    第3款，其规定包含.①洁净室按最大班人数每30人设1台单人空气吹淋室，以此选用空气吹淋室的数量；由于空气吹淋室有多种形式，如单人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室等，所以洁净室内人数较少时可采用单人吹淋室，而人数较多时则应采用多人吹淋室和多个并联或通道式吹淋室等形式。②洁净室(区)内的工作人员超过5人时，为上下班人员进出和管理方便，应在空气吹淋室一侧设旁通门。

5.3.6  洁净厂房内的人员净化应遵循由外至内逐步洁净的循序渐进的原则，每个洁净室的人员净化路线都应有合理的程序，应避免已经过净化的部分又再被污染的情况发生。对于人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级要求，本条只规定：①洁净工作服更衣室的洁净度等级，推荐低于相邻洁净室(区)空气洁净度等级；②当设有洁净工作服洗涤室时，其空气洁净度等级不宜低于8级。

本条还要求，对于人员净化用室和生活用室，可根据具体条件，送入经过高效空气过滤的洁净空气，从而减少人员携带污染物进入洁净室(区)。