7.1 一般规定

7.1.1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。

7.1.2 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。

7.1.3 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置：

1 运行班次或使用时间不同；

2 生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康、安全有影响；

3 对温、湿度控制要求差别大；

4 洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊；

5 净化空调系统与一般空调系统；

6 系统风量过大的净化空调系统。

7.1.4 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合本规范第3.2.3条的规定。

7.1.5 洁净室(区)内的新鲜空气量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

7.1.6 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：

1 各洁净室(区)与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定；

2 不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大于等于5Pa；

3 洁净室(区)与非洁净室(区)之间的静压差应大于5Pa；

4 洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。

7.1.7 洁净室(区)维持静压差值所需的压差风量，宜采用缝隙法或换气次数法确定。

7.1.8 送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

7.1.9 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化处理。

7.1.10 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定。洁净室(区)宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

条文说明

7.1.3 洁净厂房中净化空调系统的划分原则，本条推荐6种情况宜采用“分开设置”。研究分析净化空调系统“分开设置”的依据，大体可归纳为：电子产品生产工艺特点或要求，方便运行管理，减少能量消耗，防止交叉污染和由此带来的影响产品质量或工作人员健康或影响运行安全等多项因素。本条中的第1、3、4款，主要是为方便运行管理、减少能量消耗作出的规定。第2款是为防止交叉污染，确保电子产品质量和保护工作人员健康以及安全运行作出的规定。第5款是为了方便运行管理、减少设备投资和方便安装调试等作出的规定。第6款是为了方便运行管理、减少风管尺寸等因素作出的规定。

7.1.5 洁净室(区)内的新鲜空气量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073—2001中第6.1.5条的规定。

7.1.6、7.1.7 洁净室(区)与周围的空间必须保持一定的静压差，这是为了确保洁净室(区)的正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时，空气流只能从空气洁净度等级高的房间或区域流向空气洁净度等级低的房间或区域，使洁净室(区)内的空气洁净度不会受到污染空气的干扰。

由于电子产品生产工艺各不相同，因此各类洁净室(区)所要求的空气洁净度不同；各个房间或区域散发的污染物种类、发尘量不同，所以各类洁净室(区)之间的静压差只能随产品生产工艺要求确定。

静压差值的大小应选择适当。若压差值选择过小，洁净室的压差很容易被破坏，洁净室(区)的洁净度就会受到影响。若压差值选择过大，就会使净化空调系统的新风量增大，空调负荷增加，同时使中效、高效过滤器使用寿命缩短，故很不经济。另外，当室内静压差值高于50Pa时，门的开关就会受到影响。

国际上现行的洁净室标准中都明确地规定，为了保持洁净室(区)的空气洁净度等级免受外界的干扰，对于不同等级的洁净室之间、洁净室与相邻的无洁净度级别的房间之间都必须维持一定的静压差。虽然各个国家规定的最小压差值不尽相同，但最小压差值都在5Pa以上。

试验研究的结果表明，洁净室内正压值受室外风速的影响，室内正压值要高于室外风速产生的风压力。当室外风速大于3m/s时，产生的风压力接近5Pa；若洁净室内正压值等于或小于5Pa时，室外的污染空气就有可能渗漏到室内。因此，洁净室与室外相邻时其最小的静压差值应该大于5Pa，所以规定洁净室与室外的最小压差为10Pa。

7.1.8 洁净室(区)的送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073—2001中第6.2 4条的规定。

查找上节下节条文
说明返回
顶部

目录导航

笔记需登录后才能查看哦~

去登录