12.4 自动控制

12.4.1 洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构，并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。

12.4.2 洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。

12.4.3 洁净室(区)内外的压差监测，宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。

12.4.4 净化空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应联锁控制，并应设置无风、超温断电保护；当采用电加湿器时，应设置无水、无风断电保护。

12.4.5 在满足生产工艺要求的前提下，宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。

条文说明

12.4.1、12.4.2 电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术、自动化仪表、计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术，只有正确合理地运用各门技术，系统才能达到控制要求。为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求，公用动力工程系统、净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性。其次，对于不同的控制设备，要求具有开放性，以适应实现全厂联网控制的要求。电子产品工艺技术发展迅速，电子工业洁净厂房设计应具有灵活性、扩展性，为此要求控制设备具有可扩展性，以满足洁净厂房控制要求的变化。

集散式网络结构具有良好的人机交互界面，能较好地实现对生产环境、各类动力公用设备实施检测、监视和控制，可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房。当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时，也采用常规仪表进行控制。但无论采用何种方式，控制精度都应满足生产要求，并能做到稳定、可靠运行，达到节能的要求。

12.4.3 洁净室(区)需要保持一定的静压差，这是实现洁净室(区)空气洁净度的基本要求，所有洁净室(区)都应采用各种不同的静压差控制方法，如余压阀、压差变送器等。

12.4.4 净化空调系统采用电加热器对送入洁净室(区)的洁净空气进行加热时，通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上，一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时，可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故，净化空调系统采用电加湿器时，加湿器加热汽化纯水对送入洁净室(区)的洁净空气增湿，通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内，一旦发生纯水供水中断或无风时，也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故。为此作了本条的规定，并为强制性条文。

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