中国建筑科学研究院建筑防火研究所--消防规范网

目 录 上一节 下一节 查 找 检 索 手机阅读 总目录 问题反馈

 

13.2 防静电措施


13.2.1 洁净厂房防静电环境中,防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求:
    1 防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求;
    2 防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2.5×104~1×109
    3 防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1×105~1×108Ω。
13.2.2 洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求:
    1 一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5×104~1×106Ω,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;
    2 二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1×106~1×109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;
    3 三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。
13.2.3 洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求:
    1 应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面;
    2 金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地;
    3 室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。
13.2.4 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求:
    1 各类装修材料应具有表面静电耗散性能,不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料;
    2 各类装修的饰面应平整光滑。
13.2.5 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。
13.2.6 洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。
13.2.7 洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。
条文说明
13.2.1 本条是对防静电环境中防静电地面的规定,其主要依据是:
    1 防静电地面是防静电环境控制的重点部位,防静电地面面层类型的选择,首先应满足不同的电子产品的生产工艺的要求,并进行技术经济比较后确定。一般防静电地面有导静电型活动地板、静电耗散型活动地板、贴面地板、树脂涂层地面、水磨石地面、移动式地垫等。

    2 随着防静电工程技术的发展和工程实践经验,在防静电工程领域,采用表面电阻值、表面电阻率或体积电阻率等作为量纲单位,国内(如电子行业)、国外(如美国材料与试验协会、防静电协会)近年来发布的标准都使用了上述量纲单位,本规范采纳表面电阻率作为量纲单位。
本条规定的材料名称、性能指标主要依据《地板覆盖层和装配地板静电性能的试验方法》SJ/T 11159、《防静电地面施工及验收规范》SJ/T 31469,并参考国际、国内相关规范、标准,结合我国实际情况,综合考虑确定。
13.2.2 本条是对防静电环境中的吊顶和墙、柱面的防静电要求。制定的理由是:
    1 在电子工业洁净厂房防静电环境中的顶棚和墙、柱面采用防静电装饰,对控制环境质量的作用主要是:抑制尘埃的带电吸附,改善环境的清洁度;抑制静电噪声的空间传导及其与电噪声的耦合,净化工作区的电场环境。故本条规定防静电环境中的吊顶和墙、柱面的装饰应按设计分级标准选择。
为确保在任何时间任何情况下静电电位不大于规定值,一、二级防静电环境的墙、柱面应设置导电层,有利于静电的可靠泄导。
    2 本条规定主要依据行业标准《防静电地面施工及验收规范》SJ/T 31469、地方标准《防静电工程技术规程》DGJ 08—83,并参考国内、国外相关标准以及近年来大量大工程实践经验制定。
    由于软帘的放电机理比较特殊,在静电泄放过程中会形成多次放电,参照国外标准,软帘的摩擦起电电压可适当放宽。
    三级防静电工作区提出了低起电材料的应用,根据有关标准和文献的一般提法,低起电材料界定为摩擦起电电压不大于2000V,为满足三级防静电工作区的静电电位要求,用于防静电环境的材料仍不应大于1000V。
13.2.4 未经表面改性处理的高分子绝缘材料,是环境中产生静电的主要静电源,因此本条明确规定电子工业洁净厂房中的防静电环境不得使用这类材料。
    由于装修饰面的平整光滑对于抑制静电的产生和积聚有积极作用,所以防静电环境不宜设计的过于复杂。
13.2.5、13.2.6 制定这两条的理由是:
    1 由于净化空调系统送、回风口和风管管壁是易于产生静电的部位,因此规定了在防静电环境中的送、回风口和风管制作应采用导电材料,并应接地的要求。
    2 在防静电环境的净化空调系统、各种配管系统中使用部分绝缘性材质、导电性橡胶软管时,应采取相应的导电措施,以泄放可能产生的静电,并采取可靠接地的措施。13.2.7 由于在一些电子产品生产过程中不断地产生和积聚静电,虽然在防静电环境中采取了上述各项防静电设计技术措施,但仍不能达到某些电子产品生产对防静电的严格要求或在某些局部仍然会形成超过规定的静电电位。实践表明,应用离子化静电消除器等装置,消除、中和局部表面或空气中的电荷,是行之有效的方式。离子化静电消除器种类繁多,其作用原理、产品形式、消除静电效能、环境要求均差异很大。按空气离子化原理分,有同位素放射型、交流型、稳定直流型、脉冲直流型等型式。还可按结构形式分,有台座式离子风机、管式离子风嘴、箱柜式离子风机、离子风枪和静电离子棒。按适用场所分,有机内层流罩式、洁净室式、空调房间式、工作台面式和压缩气体式。按组合布置分,有针、细棒、网格(隔栅)、发射体和离子风等。防静电技术措施应根据不同场所、不同产品生产工艺要求,综合使用不同形式的离子化消电手段,以达到较好的消电效能。
查找 上节 下节 条文
说明
返回
顶部

目录导航

    笔记需登录后才能查看哦~
电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008
微信、QQ、手机浏览器等软件扫一扫 即可阅读