9.2 特种气体探测系统

9.2.1 本条是对电子工厂中设置特种气体探测器位置的区域或场所的规定。
    其中第1款中自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性气体的使用场所是指使用以上气体的工艺设备内或房间内的气体发生泄漏、易积聚处；技术夹层内气体探测器是设置在有阀门或接头等可能发生气体泄漏、易积聚的部位；第2款是自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性气体储存、分配间内的气体发生泄漏、易积聚处应设气体探测器；第2至5款为自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性气体储存、分配设备的排风口，因发生特种气体泄漏，可能达到规定报警浓度，应设气体探测器；第6款是使用惰性气体房间设置氧气探测器，主要是因为惰性气体泄漏后，可能使空气中氧浓度降低到使房间的作业人员造成窒息，且国内外已有多个工厂发生惰性气体造成人员窒息伤亡事故。为此本条为强制性条文。
9.2.2 由于自燃性、可燃性、有毒气体一旦泄漏超过规定值，危害性极大，为此作了本条规定，一级报警后，即使气体浓度发生变化，报警仍应持续，只有经人工确认并采取相应的措施后才能停止报警。
    特种气体探测系统检测装置主要以下几种：
    1 自燃性、可燃性气体检测宜采用催化燃烧型检测装置、半导体检测装置、电化学检测装置。
    2 毒性气体检测宜采用电化学检测装置。
    3 根据使用场所的不同确定不同特种气体采样方式，应正确选用扩散式检测装置、单点或多点吸入式气体检测装置。
9.2.3 为了明确检测报警装置的工作状况，防止事故发生，本条规定了自燃性、可燃性、毒性气体检测装置报警设定值的要求。
9.2.4 本条确定的数值符合现行国家标准《有毒气体检测报警仪技术条件及检验方法》HG23006中的有关规定，同时结合半导体工厂使用气体检测装置产品的快速响应要求作出检测报警响应时间规定。
9.2.5 气体探测器的设置位置是否恰当将直接影响到能否及时、正确报警，为确保生产厂房和特种气体系统安全、稳定运行，本条按特种气体相对密度的不同，作出了不同规定。