9.3 安全设施

9.3.1 为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了可燃性、自燃性、毒性气体的储存、分配及使用场所安全设施的设置，其中第1款规定了设置闭路电视监控摄象机、门禁，摄象机、门禁应考虑与环境相适应。
    第2款是从实际情况看，安全管理显示屏一般安装在洁净室内、洁净室入口服务台处、气瓶柜间的入口等位置。其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施。以TCP/IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器。在洁净室入口服务台处及值班室的工作站，可键入日常信息，在安全显示屏上显示。为此作了本款规定。
    第3款是因为自燃性、可燃性、毒性气体一旦发生泄漏等安全事故，将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患，为此，本条规定在这些气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主入口、内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置，提醒人员注意，采取防范措施。
    第4款是为了在紧急情况下切断特种气体的供应，避免事故的蔓延与扩大，规定在自燃性、可燃性、毒性气体储存、分配、使用场所入口处设紧急手动按钮。由于应急处理中心室有专人值班，规定主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。
9.3.2 为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害，对生产与作业人员带来危害，本条规定了在地震多发地区，特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置。
9.3.3 国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍，一般设置三组地震探测装置（设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定），为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌，规定只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时，才立即执行连锁控制功能，并将警报讯号传送至工厂设备管理控制系统。
9.3.5 从保护人员生命安全的角度考虑，规定了气体站房应配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防护设施。