纯水系统管道及其阀门和附件的材质的选择，与前面所述的与纯水接触的设备和纯水储存、输送设备的要求类似，所以本节要求材料的化学稳定性应好、管道内壁光洁度应好、不得有渗气现象等。目前，电子工业洁净厂房中纯水系统管道的材质，根据所需纯水水质的不同，一般分别采用低碳优质不锈钢、聚氯乙烯(UPVC、CL-PVC)、聚偏二氟乙烯(PVDF、PVDF-HP)等类型的管材。据了解，在集成电路芯片生产用纯水系统中，一般在反渗透装置(RO)前的管道材质采用C-PVC；而RO装置之后的纯水管道材质一般采用PVDF-HP，循环供水系统的回水管路材质一般采用PVDF。

对于纯水系统的阀门、附件的选用，其材质应选择与管道相同的材质。为防止阀门可能发生渗气现象，影响纯水的水质，所以应选用密封好、结构合理的阀门。根据电子工业洁净厂房的实际情况，在集成电路芯片生产等对纯水水质要求严格的电子产品生产工艺用纯水系统中，一般采用隔膜阀。