条文说明

4.1.1、4.1.2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此，对系统设计的安全性要求十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力、温度等的工艺参数要求。为此，在气源一端一般要配置高精度的流量计、压力变送器、电子秤、温控器等。对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳一汤普逊效应。部分特种气体减压后，温度会降低，甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。
    在管路吹扫、测试检验等每一个环节应采取措施，使特种 气 体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求。为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶、长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘、辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置等，以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。
    为满足电子 产 品 工 艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求，并按照行业标准《气瓶安全技术监察规程》TSG R0006-2014 6.7.1(4)，瓶内气体不能用尽，压缩气体，溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0.05MPa;液化气体、低温液体气瓶要有不小于0.5%-1.0%规定充装量的剩余气体。同时，鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高(5N以上)，而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时，剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高。所以按照经验设定剩余量为10%，且液相不宜用干。
4.1.3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接人同一排气系统，为此，做了本条的规定。
4.1.4 工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带人浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接人同一排风系统。