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- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 空气洁净度等级
- 4 总体设计
- 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置
- 4.2 工艺平面布置和设计综合协调
- 4.3 人员净化和物料净化
- 4.4 噪声控制
- 4.5 微振控制
- 5 建筑
- 5.1 一般规定
- 5.2 防火和疏散
- 5.3 室内装修
- 6 空气净化
- 6.1 一般规定
- 6.2 洁净室压差控制
- 6.3 气流流型和送风量
- 6.4 空气净化处理
- 6.5 采暖通风、防排烟
- 6.6 风管和附件
- 7 给水排水
- 7.1 一般规定
- 7.2 给水
- 7.3 排水
- 7.4 消防给水和灭火设备
- 8 工业管道
- 8.1 一般规定
- 8.2 管道材料和阀门
- 8.3 管道连接
- 8.4 安全技术
- 9 电气
- 9.1 配电
- 9.2 照明
- 9.3 通信
- 9.4 自动控制
- 9.5 静电防护及接地
- 附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证
- A.1 通则
- A.2 洁净室或洁净区性能测试要求
- A.3 洁净室主要测试方法
- A.4 监测
- A.5 认证
- 附录B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
- 附录C 净化空调系统设计对维护管理的要求
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
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