3.2 特种气体站房分类

3.2.1 根据特种气体的物理化学及安全特性，可分为自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性及惰性气体，几乎所有的特种气体都具有两种以上的物理化学性质，工程上按其主要危险性质进行划分，制定相关的防护措施和规定。
3.2.2 参照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016中表3.1.1的规定和特种气体特性作出此条规定。
3.2.3 对国内电子工厂已装设的特种气体系统的调查得知，中国大陆电子工厂不论是国外独资企业、中外合资企业、国有企业，布置在生产厂房内的特种气体间基本上分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、氧化性/惰性气体间、三氟化氯气体间，主要还是依据物理化学特性来确定的。
3.2.4 依据上述3.1.4条的规定，当特种气体的储量大于在生产厂房内的最大允许储量时，应设置独立的特种气体站，目前在电子工厂中这些独立设置的特种气体站的建筑基本上与独立设置的硅烷站相近似，为此作了本条规定。