6.1 一般规定

6.1.1 本条定义了特种气体管道输送系统的构成部件与要素。
6.1.2 在电子工厂的工程设计中，为使管道走向明晰，便于管理，生产厂房内特种气体干管，一般都敷设在技术夹层或技术夹道内。由于特种气体多数具有可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性等、窒息性等危害特性，规定了特种气体管道与水、电气管道的共架布置的原则。
6.1.3 为了防止可燃性、有毒特种气体泄漏后聚积，引发着火、爆炸事故本条规定此类特种气体管道应架空敷设。为了防止此类特种气体管道穿过生产区墙壁与楼板处的管段气体泄漏后积聚，所以本条还规定在套管内的管道不应有焊缝。为及时排除可燃性、有毒、腐蚀性等危险气体在机械连接部位可能发生的气体泄漏，应将这些连接部位设置在抽风罩内。
6.1.4 由于不使用可燃性特种气体、毒性特种气体的房间在工程上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置，可燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后，将可能发气体泄漏，引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布置，必须穿越时应设套管或双层管。为此作了本条强制性条文。
6.1.5 本条规定特种气体管道不得出现不易吹除的盲管等死区，避免U型弯。是为了防止在特种气体管道启用、维修时及时吹扫置换管道中的氮气、特种气体。
6.1.6 为防止静电积聚，引发着火事故，本条规定可燃性特种气体体、氧化性特种气体管道，应设置导除静电的接地设施。