5.4 采暖通风与空气调节

5.4.1硅烷属于易燃、易爆气体，一旦发生泄漏，将会发生自燃，有可能导致火灾或爆炸。因此，应尽量采用开敞式硅烷站。但受到气候条件限制，如硅烷站建在寒冷地区，无法采用开放式硅烷站，应设置强制通风系统，保持硅烷站通风良好。 5.4.2为避免硅烷站泄漏的硅烷气体浓度累积，导致火灾或爆炸事故，规定禁止采用循环通风系统。
5.4.3封闭硅烷站设置空调系统目的是为硅烷气体柜及其控制系统提供一个适宜的工作环境。
5.4.4~5.4.6本条规定主要是参考美国NFPA-318《洁净室防护标准》的6.5.3条。该条内容摘录如下：置于气柜内的硅烷/有毒混合物应配备至少为200ft/min(fpm)(1.0m/sec)的机械通风，通过气瓶颈及吹扫盘。
5.4.7为防止硅烷泄漏后造成自燃或爆炸事故，规定了硅烷站的事故排气次数不得小于每小时12次，目的是为了加强通风，防止泄漏气体积聚。
5.4.8为保证硅烷站的通风可靠，要求备用通风机组。
5.4.9为保证硅烷站环境状态稳定，因此，建议空调系统设置备用空调机组。当受到条件限制时，采用适当措施保证在空调机组维护或故障时，是硅烷站能取得足够的补风，也是保证安全的有效措施之一。
5.4.10硅烷站空调系统电源设置应急电源，目的是保证特种气体间的通风平衡和稳定。
5.4.11排风管道为负压，采用柔性风管或软管，风管的有效通风面积减小，将会影响到通风效果，同时，柔性风管或软管对火灾的耐受性较差，很容易造成排风管烧坏和变形。因此，排风管应采用刚性风管。防止火焰蔓延和扩散,空调风管采用不燃材料制作,保温采用应采用不燃或难燃材料。
5.4.12为了确保人员的安全疏散，硅烷站必须保证连续排风，即使在发生火灾时，首先应将系统、设备和管道中的有害气体排出，避免防火阀误动作而造成排风系统关闭，造成硅烷积聚而引起爆炸等更大的危害，因此，本条规定排风管不应设置溶片式防火阀。
5.4.13保证硅烷站排风系统连续运行，可以防止特种气体积聚，从而降低了火灾危险性和对救援人员的危害。因此，硅烷站排风系统不应与火灾报警系统连动。关闭硅烷站排风系统可能造成更大的危害。