7.2 气流流型和送风量

7.2.1 气流流型的设计，应符合下列要求：

1 气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流；空气洁净度等级为6～9级时，宜采用非单向流；

2 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。

7.2.2 洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

7.2.3 洁净室(区)所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和气流流型，宜按表7.2.3计算。

注1 换气次数适用于层高小于40m的洁净室

2 室内人员少、热源少时。宜采用下限值。

条文说明

7.2.1 气流流型的确定应充分考虑的因素有：满足空气洁净度等级要求、一次建设投资、运行维护费、空气过滤器等更换方便等。

本条推荐的洁净室(区)内气流流型的设计要求，是基于数十年电子工厂洁净厂房工作实践的经验总结，并结合国际标准化组织ISO/TC 209技术委员会已经颁布、实施的《洁净室及相关受控环境标准》IS0 14644—1、IS0 14644-4中有关气流流型的要求和近年来国内建成投产的电子工业洁净厂房所采用的气流流型的实际状况制定的。图4是IS0 14644-4中对洁净室气流流型的图示。表19是一些电子工业洁净厂房的气流流型。上述情况表明：空气洁净度等级为1～5级时，基本上采用单向流或混合流，空气洁净度等级为6～9级时，基本上采用非单向流，且混合流流型可应用于所有各种空气洁净度等级的洁净室。

7.2.2 洁净室的送风量是保证空气洁净度等级的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073—2001中第6.3.2的规定。

7.2.3 制定本条的依据是：

1 表20是根据国际标准化组织ISO/TC 209技术委员会编写、发布的《洁净室及相关受控环境标准》ISO 14644—4《洁净室的设计、建造和试运行》中的表B.2微电子洁净室的实例，列出了空气洁净度等级为2～8级的气流流型、洁净送风量的数据。

注：在制定最佳设计条件前，应该详细规定并商定与ISO等级有关的占用状况。

表列的气流形式表示该等级洁净室的气流特性U为单向流，N为非单向流，M为混合气流(U和N组合)。平均气流速度是通常规定洁净室内单向流的方法。对单向流速度的要求取决于局部的参数，如几何图形和热参数。不一定是过滤器的面速度。每小时换气次数是规定非单向流和混合气流的方法。建议的换气次数是指3.0m的室高度。应考虑不透水的屏障技术。污染源和待保护的区域要有效地分隔开，可以用物理或气流屏障。

2 近年来，一些8″、12″集成电路芯片生产用洁净厂房中主要生产设备配置微环境装置时，洁净室采用Ballroom＋微环境时，其洁净厂房内洁净区的空气洁净度等级为5级或6级，气流流型为非单向流，洁净生产区送风一般选用FFU，吊顶上FFU的满布率为25％左右；微环境内的空气洁净度等级为2～4级。

3 单向流洁净室的平均风速下限值，在自动化、机械化程度很高的洁净室(区)内基本无人的情况下，有的洁净室(区)仅采用0.11m/s。

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