7.5 采暖、通风

7.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散热器采暖。

7.5.2 洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，应设置局部排风装置，排风罩宜为密闭式。局部排风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

7.5.3 洁净室(区)的排风系统设计，应符合下列要求：

1 应防止室外气流倒灌；

2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆措施；

3 局部排风系统排出的有害气体，当其有害物质浓度超过排放标准时，应采取有效处理措施。排气管高度和排放速率应满足国家现行有关排放标准的规定；

4 对含有水蒸气或凝结物质的排风系统，应设置坡度及排放口；

5 排风介质中含有剧毒物质时，应设置备用排风机和处理设备，并应设置应急电源；

6 排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，应设置备用排风机，并应设置应急电源；

7 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，其风量应按在正常运行和事故情况下，风管内爆炸危险气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20％计；

8 排除有爆炸危险气体和粉尘的局部排风系统，应设置消除静电的接地装置。

7.5.4 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路，应保持相对于路由区域一定的负压值。

7.5.5 净鞋室、更外衣室、盥洗室和厕所等生产辅助房间，应采取通风措施。

7.5.6 洁净室(区)事故排风系统的设计，应符合下列规定：

1 事故排风区域的换气次数不应小于12次/h；

2 应设置自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设置在洁净室(区)和洁净室(区)外便于操作的地点；

3 应设置应急电源。

条文说明

7.5.1 为使洁净室(区)内严格做到不产生或少产生尘粒、不滞留或少滞留尘粒，若洁净室(1X)需设置采暖设施时，不应采用散热器采暖。据调查了解，目前电子产品生产用洁净室(区)内大多不采用散热器采暖，为此本条作了严格规定，并为强制性条文。

7.5.2 为确保局部排风系统的安全、稳定运行，电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073—2001中第6.5.3条规定。

7.5.3 一些电子工业洁净厂房内使用各类品种、一定数量的可燃、易爆和有毒物质，其中以集成电路芯片制造工厂为最多，为确保电子产品生产的安全、可靠运行，通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统。在芯片制造用洁净厂房中的可燃、有毒或有害物质主要有：酸碱类：HF、HCl、H₂SO₄、HN0₃、NH₃等；有机类：IPA(异丙醇)、CHCl₃、NBA、HMDS、丙酮等；特种气体：AsH₃、SiH₄、PH₃、B₂H₆、HCl、NF₃、WF₆、SiHCl₃、CF₄、SF₆、N₂0等。这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性，为此，电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施，将危害性减少到最小；同时，还应采取技术措施，防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全、卫生造成威胁或危害。本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定。现对一些规定说明如下：

1 排气系统中，含有水蒸气或凝结物质时，若不能排除系统中的凝结液，将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室(区)的空气洁净度，为此本条规定：此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质。

2 排气介质中含有剧毒物质时，该排风系统在运行过程中是不能停止运转的，一旦停机，将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害，为此本条规定：此类排风系统的排风机和处理设备应设备用，并设置应急电源。

排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，为确保安全运行，排风系统也不能停止运转，为此本条规定：此类系统的排风机应设备用，并应设应急电源。

3 现将美国消防协会(NFPA)的NFPA 318《洁净室消防标准》中的相关条文摘录如下，供参考：第3.5.1条，排风系统必须设有自动应急电源。第3.5.2条，应急电源工作时，必须达到不低于排气系统50％的容量。第8 8节，使用可燃或易燃化学品的设备，必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20％以下的排气系统。

7.5.4 为了避免含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏，形成安全事故的发生，本条规定：此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力，即保持一定的负压值。

美国消防协会的NFPA 318《洁净室消防标准》中第3.2.3条规定：含有有毒化学物质的排气系统压力，必须低于通过建筑区域的正常压力。

7.5.6 制定本条的主要依据有：

1 按现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB50019—2003中第5.4.3条制定本条第1款规定。

2 根据现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB50019—2003中第5.4.6条规定本条第2款明确规定在洁净室(区)和洁净室(区)外设手动控制开关；为运行安全和管理要求，并规定应设自动控制开关。

3 参照美国消防标准NFPA 318《洁净室消防标准》中第3.5.1条“排气通风系统应设置应急电源”。为确保事故排风系统及时投入运行，不会因停电无法运行而诱发事故的发生，制定本条第3款的规定。

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