12.1 配电

12.1.3 电子工业洁净厂房中的产品生产用主要工艺设备，一般都是电子生产线的关键设备、核心设备，它们的正常、连续运转对确保生产线的正常运转至关重要，所以近年来的一些电子产品生产用主要设备都要求由专用变压器或专用低压馈电线路供电。随着科学技术的发展，电子产品生产的精细化、微型化、高质量和高可靠性的要求日益严格，对洁净室(区)的空气洁净度等级要求严格和连续运转、高纯物质(高纯水、高纯气、高纯化学品)供应可靠和连续，这些都对洁净室(区)的电力供应提出了连续甚至不间断供应和电压稳定性要求。据不完全统计，近年来设计的大规模集成电路芯片制造工厂、TFT-LCD制造工厂中，均要求电力供应中设置备用发电机组。供应有特殊要求的生产工艺设备和公用动力设备(包括高纯气、特种气体、部分净化空调系统、化学品等供应系统)等所需电力，应急发电机供应电力的能力约占全厂装设功率的2％～15％，不间断电源(UPS)的电力供应能力占全厂装设功率的1％～15％；一些大规模集成电路芯片制造工厂的应急发电装置设有8～12台，单台发电能力1500～2000kW。虽然有上述工程实践，但电子产品类型很多，据了解，并不是所有电子产品生产用洁净厂房都采用上述配置，因此作了本条规定。

12.1.4 为确保洁净厂房的净化空调系统(含制冷机)连续、稳定地运行，应由变电所低压馈电专线供电。

12.1.6 本条规定电子工业洁净室(区)中的配电设备应采用暗装，是为了防止或减少产生、积聚微粒，方便清洁。近年来，电子工业洁净厂房中采用垂直单向流洁净室时，下技术夹层高度常常为4m以上，此时，配电系统的配电箱基本上均布置在下技术夹层内，故本条规定“配电设备宜设置在下技术夹层”。

12.1.7 洁净室(区)为密闭空间，一旦出现火情时烟气不易排出，为确保工作人员的安全和健康，宜采用低烟、无卤型电缆，避免电缆燃烧产生的烟雾和卤素毒气危及工作人员的安全。为保证洁净生产区的洁净度、不积聚尘埃，电缆不宜在洁净生产区明敷。为避免防止污染物从接缝渗漏人洁净室(区)，对各种接缝、电气管线口应进行密封处理。

12.1.8 电子工业洁净厂房内使用的可燃气体、危险化学品的种类很多，各自的物理化学特性不同和供应系统配置不同，且具体工程中的系统、设备和安防设施的配置也不相同，所以电气设计应按现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的规定，由工艺专业等确定其设防等级。