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8.2 给水


8.2.1 洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷却水)对水质、水温、水压、水量的要求确定,宜按生产、生活、消防分别设置独立的给水系统。
8.2.2 当设有危险化学品储存和分配室时,应根据化学品的物理化学性能和人身安全的要求,设置紧急淋浴器和洗眼器,其给水管道应环形敷设布置。
8.2.3 给水管道的管材及附件的选择,应符合下列要求:
    1 给水系统的管材和附件的选用,应满足生产工艺和系统工作参数的要求;
    2 埋地管道应耐腐蚀,并应具有承受相应地面荷载的能力;
    3 生产设备循环冷却水给水和回水管道,应按生产工艺和水质要求,采用不锈钢管、钢塑管、塑料管等,不宜采用焊接钢管;
    4 阀门及附件应采用与管材相同的材质。
条文说明
8.2.1 电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工,对水质、水温、水压等的要求都较为严格,水质、水温、水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障,因此,应根据不同的工艺要求设置独立给水系统。常见的系统有:纯水或超纯水系统;工艺循环冷却水系统;一般工业给水系统,热(温)纯水系统等。对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给。
8.2.2 电子工业半导体、液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品,为此,在厂房(车间)设有危险化学品储存和分配系统,考虑到操作和维护人员的安全,应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器。环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路,是为了提高供水的可靠性,确保在任何时刻都有水供应。
8.2.3 本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质、水压、水温作出的相应规定。
    1 给水系统管材选用。首先,要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化,即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性。其次,要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力。
    2 由于半导体制造、液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求,所以这类厂房的首层底板经常加厚,有时达到600~800mm。埋设在这些底板下的给水管道,维修和更换是较困难的,因此,埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性,另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性。需要注意的是,镀锌层是防锈层而不是防腐层,所以埋地镀锌管必须做防腐处理。在进行洁净室的给水排水设计时,应尽量避免埋地管道。
    3 电子工业生产设备的冷却水,一般对电导率、TOC、pH值等提出要求,为确保生产设备循环冷却水的水质,给水管和回水管采用不锈钢管、钢塑管和塑料管是合适的;焊接钢管由于其耐腐蚀性差,容易产生锈蚀,故不宜使用在对电导率、TOC、pH值等有要求的场合。
   4 阀门及配件要求与管材一致,主要是为了保证供水水质。
 
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电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008
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