10.2 常用气体系统

10.2.1 常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气体、瓶装气体。

10.2.2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。放散管引至室外，应高出本建筑的屋脊1m，并应采取防雨、防杂物侵入的措施。

10.2.3 气体纯化装置的设置，应符合下列要求：

1 气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择；

2 气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时，气体纯化间宜与气体入口室合建；

3 各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时，也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内；

4 气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。

10.2.4 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设置在气体入口室。

10.2.5 气体纯化间(站)或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间(站)或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：

1 应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；

2 氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀；

3 应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置；

4 应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁；

5 应设置导除静电的接地设施。

10.2.6 洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列安全技术措施：

1 管道及阀门、附件应经严格的脱脂处理；

2 应设置导除静电的接地设施；

3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。

10.2.7 各种常用气体的气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室(区)内，但应采取不积尘和易于清洁的措施。

10.2.8 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，宜符合下列规定：

1 气体纯度大于或等于99.999999％时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管，阀门应采用隔膜阀；

2 气体纯度大于或等于99.999％、露点低于-76℃时，宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀；

3 气体纯度大于或等于99.99％、露点低于-60℃时，宜采用内壁抛光的不锈钢管，除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其余气体管道宜采用球阀；

4 气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

10.2.9 气体管道连接，应符合下列规定：

1 管道连接应采用焊接，

2 不锈钢管应采用氩弧焊，宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊；

3 管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫；

4 管道与设备的连接应符合设备连接的要求。当采用软管连接时，宜采用金属软管。

条文说明

10.2.1 常用气体主要包括氢气、氮气、氧气、氩气和氦气，在电子工厂中它们的供气方式主要有三种：第一种是在电子工厂内或邻近处设制气装置，采用管道输送至用气厂房、车间或设备；第二种，外购液态气体，在电子厂房内设液态气体储罐、气化器及气体过滤、调压、输配装置，由管道送至用气厂房、车间或设备；第三种，外购瓶装压缩气体，瓶装压缩气体有单个钢瓶或钢瓶集装格或长管气瓶拖车等形式，在电子工厂内设压缩气体钢瓶储存、气体分配装置或汇流排，再由管道输送至用气厂房、车间或设备。表23是三种方式的比较。

10.2.3～10.2.5 这3条是对电子工业洁净厂房中的气体纯化装置的设置、气体入口室的设置和气体纯化间、气体入口室内设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，为了安全、稳定运行作的规定或要求。

1 根据电子产品生产工艺要求和气源的品质，电子工业洁净厂房内常常设有不同类型的气体纯化装置，如电子产品生产工艺要求气体中杂质含量达到10^-9时，即使管道供应或外购气瓶的气体纯度达99. 99％或99.999％，尚需设置金属吸气剂法、低温吸附法和钯膜扩散法等类气体纯化装置对气体进行提纯。

2 根据国内已建各类电子工业洁净厂房的状况，对于用气设备较多的厂房，为方便管理和安全运行，各种气体纯化装置大多设在气体纯化间(站)内，并且常常将多种气体纯化装置集中设置在一气体纯化间(站)内。一般氧气纯化装置由于不需要用氢气进行活化再生，配置非防爆电气装置时，可将氧气纯化装置与配置有防爆电气装置的气体纯化装置分开设置。

3 为了对进入电子工业洁净厂房的各种气体管道进行集中管理，目前国内各工厂大多设有气体入口室，也有的工厂为管理方便将部分气体纯化装置或全部气体纯化装置也设置在气体入口室内或将气体进入洁净厂房的相关控制阀门设在气体纯化间内。

4 由于气体终端纯化装置是确保用气设备处的气体品质，并且这类设备对气体品质要求均十分严格，为了减少高纯气体输送过程被污染和减少管路投资以及管理方便，宜将气体终端纯化设备设在邻近用气点处。

5 对于甲类火灾危险生产的气体纯化间(站)或气体入口室，根据现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的要求，应靠外墙设置。

6 氢气等可燃气体引入管道上，应设自动切断阀，对洁净室(区)的安全可靠运行十分有利，一旦出现异常时，切断可燃气体气源，防止事故扩大。美国消防协会颁布的NFPA 318《洁净室消防标准》第6.6.3条规定：“……可燃和有毒气体探测器必须启动报警器和切断气体供给”。

7 设有氢气等可燃气体的气体纯化间或气体入口室，应设有良好的自然通风设施，以确保一旦氢气等泄漏时及时排放，避免在室内积累；当房间内泄漏气体达到规定浓度时，气体泄漏报警装置报警并启动事故排风装置。工程实践证明，自然通风、事故排风均为可靠的、行之有效的安全技术措施。

10.2.6 鉴于氧气的特性，氧气与油脂接触后，如碰上着火源，极易引起燃烧事故，所以氧气管道、阀门及附件均应忌油，都必须进行严格的脱脂处理；氧气是典型的氧化性气体，只要在氧气管道内因各种原因存在机械杂质、铁锈等可燃物时，一旦有着火源都极易引发着火燃烧事故，因此氧气管道等均应设有导除静电的接地设施，以及时消除管道内气流摩擦等因素产生的静电聚集；当洁净厂房因各种原因出现火情或重大事故时，为了避免引发氧气管道产生次生灾害，减少损失，应及时切断氧气供气气源。为此制定本条规定，并为强制性条文。

10.2.9 由于洁净室(区)内密闭性好，为避免各类气体泄漏后不易排出，积聚在洁净室(区)内或技术夹层、技术夹道内，根据电子工业洁净厂房设计、建造的实践经验，气体管道的连接应采用焊接。当气体管道的材质采用不锈钢管时，应采用氩弧焊，并宜采用等离子熔融对接焊。气体管道与设备或阀门的连接宜采用表面密封接头(VCR)或双卡套，高纯气体管道应采用表面密封接头(VCR)，采用双卡套接头时，其密封材料宜采用金属或聚四氟乙烯垫。

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