7.4 空气净化设备

7.4.1 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：

1 空气过滤器应根据空气洁净度等级选用；

2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量；

3 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段；

4 高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端；超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端；

5 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近；

6 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近；

7 对化学污染物有控制要求的洁净室(区)，在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置；

8 高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。

7.4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求：

1 应根据空气洁净度等级和送风量选用；

2 应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置；

3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定；

4 送风量应能调节；

5 应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时，外壳强度应满足检修要求。

7.4.3 层流罩的设置应符合下列要求：

1 洁净室(区)内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩；

2 层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用；

3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定；

4 安装方式不应影响生产操作。

7.4.4 微环境装置的设置应符合下列要求：

1 当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对湿度有较高要求，且所控区域不大时，宜采用微环境装置；

2 微环境装置宜与生产工艺设备配套；

3 在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性，内外表面应平整、光滑；

4 围挡构造、材料的选用应方便生产操作。

7.4.5 干表冷器的设置应符合下列要求：

1 安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定；

2 迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定；

3 冷冻水进水温度，宜高于洁净室(区)内空气的露点温度；

4 应设置排水设施。

7.4.6 净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要求：

1 应有良好的气密性，漏风率不得大于1％；

2 整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑，外表面不应结露；

3 布置应整齐，并应便于运行和维修；当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时，宜选用相同规格的空气处理机组；

4 送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时，中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；

5 应设置排水装置。

条文说明

7.4.1 电子工业洁净厂房的净化空调系统的核心设备之一的空气过滤器的正确选用和合理布置，是至关重要的。首先，应遵循我国的相关国家标准、行业标准合理选用空气过滤器，包括空气过滤器的处理风量、效率、阻力、材质和检测方法(含检漏方法)等。其次，根据具体工程项目的产品生产要求和净化空调系统设计，合理安排各类空气过滤器的位置，在空调箱中，中效(高中效)空气过滤器常安装在正压段，但近年来为了保持表冷器表面清洁，减少尘粒沉积，已有许多设计中在风机前安装中效空气过滤器，图7便是一例。鉴于目前我国的相关标准中还没有去除化学污染物的空气过滤器或其他去除装置的标准，只能参照相关国际标准进行选用和布置。

7.4.2 风机过滤机组(FFU)是将风机与高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)组合在一起，构成自身可提供推动力的末端空气净化装置。它由风机、过滤器、机壳和电器控制等部分组成。FFU的主要技术性能包括风量(一般以断面风速表示)、余压、能耗、效率、噪声和控制方式等。目前国内电子工业洁净室应用FFU越来越多，不仅在大面积、空气洁净度要求严格的单向流或混合流洁净室(区)采用，而且在各种用途的、面积不是很大的单向流或混合流洁净室(区)中也有应用。目前在应用中受到各方面关注的主要是FFU装置的经济性(投资、运行费)、风量和余压、噪声、能耗等性能参数，表21是对国内市场的几个制造厂家生产的FFU装置的实测性能参数。

注表中产品的模数尺寸为1200mm×600mm。风压均为机外余压（Pa）。

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