10.4 特种气体系统

10.4.1 由于电子产品生产工艺所使用的特种气体是品种多、单一品种数量少，所以均为外购供应，一般采用钢瓶包装、运输、储存或少量采用槽车运输。在钢瓶(储罐)内的状态有气体及液体。根据生产工艺所使用的特种气体物化性质、耗量、品质要求，在电子工厂内应合理设置储存、分配系统。

10.4.2 本条规定的特种气体储存分配间是指电子工业洁净厂房中设置特气柜的专用房间，该特气柜间属于洁净厂房中的生产辅助房间，通常设在靠外墙的边跨中，有时为了平面布局的需要也可设在其他场所。该特气间生产危险性类别的划分应根据放置的特气种类确定，而电子工业洁净厂房中的特气间常常设有可燃性、毒性、氧化性特种气体，所以应按甲、乙类生产类别进行设计。参照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016—2006中的相关规定，在甲、乙、丙类厂房内，布置有不同类别火灾危险性的房间的隔墙应采用耐火极限不低于2.0h的不燃烧体，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。并根据多年的工程实践，制定本条规定，并为强制性条文。

10.4.3 可燃或有毒的特种气体具有对安全生产、人员健康极大的危害，因此本条的第1～3款对其分配系统的设置作了强制性规定：

    1 特种气体钢瓶及其分配系统应设在具有连续机械排风的特气柜中，该特气柜应配有气体泄漏检测报警系统、手动或自动切换系统、自动切断输送气体及自动吹扫的设施。气体泄漏检测报警系统应与事故机械排风机联锁。该特气柜设排风装置，并应排入相应的生产废气处理系统，经集中处理达标后，方能排放至大气。对储存高危害性特种气体的钢瓶柜应配置就地废气处理装置，经集中处理达标后，才能排入上述相应的生产废气处理系统。

    2 为确保连续不中断运行，分配系统所设置的自控系统、报警系统及与之所联锁的事故排风机的电源，均应设应急电源。

    3 特种气体系统的阀门、附件及连接件都应设在多路阀门箱(盘)(VMB或VMP)内，该阀门箱/盘均设机械排风装置、气体泄漏检测及声光报警系统，并能在事故发生时及时切断气体供应和启动所联锁的事故排风机，排入相应的生产废气处理系统。

10.4.4 特种气体分配系统中，具有危害性的特种气体钢瓶气源应配备吹扫盘，为此本条作了相应规定。
    1 现将美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室消防标准》第6.3节有关特种气体吹扫盘的相关规定摘要如下：

    1)所有危险的压缩工艺气体钢瓶在使用时，应设置吹扫盘；

    2)选用的吹扫盘所使用的管道、配件的材料与所输送的气体应具有相容性；

    3)应设置过流量控制，并设紧急切断阀；

    4)只有用于相容气体的吹扫盘，才容许共用吹扫气瓶；

    5)设手动切断阀，以便将吹扫盘整体取下进行修理。

2 吹扫盘的吹扫气源一般采用以下两种方式.

    1)采用常用气体输配系统作为吹扫气源，系统应设置防回流措施，以防止吹扫气体与其他工艺特气的交叉污染；

    2)采用专用吹扫气体钢瓶或钢瓶组作为吹扫气源，对物化性质不相容的两个或两个以上特气钢瓶气源所配置的吹扫盘，不允许合用一气体钢瓶或钢瓶组吹扫气源。

10.4.5 本条规定硅烷或硅烷混合物气瓶应存放在电子工业洁净厂房建筑外的储存区内，并规定了这类储存区设置的相关规定。这些规定，主要是参考了美国消防协会发布的NFPA 318((洁净室消防标准》第6.4节的有关规定：

    1 储存区必须是三面敞开的，气瓶用钢制框架保护。

    2 气瓶与周围构筑物及围栏最小间距应大于等于95英尺(约2.7m)。

    3 当储存区设有雨篷时，其净高应为12英尺(约3.7m)。